09复型技术.ppt

2016-9-251第九章复型技术(质厚衬度原理)oo概述概述oo质厚衬度原理质厚衬度原理2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU- 概述衬度:是指试样不同部位由于对入射电子作用不同,经成象放大系统后,在显示装置上(图象)显示的强度差异。2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP3透射电镜图象衬度包括:?振幅衬度:是由于离开试样下表面的电子,部分被物镜光阑挡掉不能参与成象造成的,是揭示试样?20 ?细节的主要机制。?散射衬度(质量厚度衬度)?衍射衬度?相位衬度:是试样内各点对入射电子作用不同,导致它们在试样出口表面上相位不一,经成象放大系统让它们重新组合,使相位差转换成强度差而形成的,是揭示?10 ?物体细节的主要机制(如结构象、原子象等)。2016-9- 质厚衬度原理2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP5一、成象原理1、概念入射电子进入试样后,与试样原子的原子核和核外电子发生相互作用,使入射电子发生散射:?弹性散射——入射电子与原子核的作用主要发生弹性散射,只发生方向变化而能量不变;?非弹性散射——入射电子与核外电子的作用主要发生非弹性散射,其方向和能量均发生变化。2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP6由于试样上各部位对电子的散射能力不同所形成的衬度称为散射衬度(质厚衬度),主要用于分析复型成象和粉末试样成象。2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP72、成象过程如图。物镜光阑放在物镜的后焦面上,光阑孔与透镜同轴;散射角大的电子被光阑挡住,只有与光轴平行及散射角很小的那一部分电子可以通过光阑孔;如图中A点比B点对电子散射能力强,则IA?IB,即图象上A'点比B '点暗。2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP8试样电磁透镜物镜光阑IAI0I0ABB'(IB)A'(IA)IB2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-ZLP9二、明场象和暗场象用物镜光阑挡掉散射电子的方法所得到的图象称为明场象。用物镜光阑挡住直接透过的电子,使散射电子从光阑孔穿过成象,这样得到的电子图象称为暗场象。实现暗场象的方法有两种:?A. 使光阑孔偏离透镜轴?B. 使入射电子束倾斜2016-9-25HNU-ZLPHNU-ZLPHNU-