手套箱等设备技术参数.doc

手套箱等设备技术参数序号主要技术要求及配置要求1设备名称及采购数量:手套箱3套,气体净化系统2套一、技术参数: (一)手套箱: 1、箱体要求:304不锈钢材质,尺寸分别≥2000mm*1000mm,1500mm*780mm,1500mm*780mm; ★2、箱体泄漏率:<%/h; ★3、微型过渡舱1个(长≥400mm,直径≥150mm),T型过渡舱2个(长≥600mm,直径≥390mm),均须内置滑盘; ★4、前窗面板为Lexan材质,厚度≥10mm,手套孔圈为POM材质; 5、防疲劳照明系统,需有防漫射功能,安装于前窗顶部; 6、溴丁基橡胶手套,厚度≥,末端口径≥220mm; 7、必须配置三层高度可调的搁物架; 8、HEPA过滤器的过滤级别可达H13,风速≥,洁净度千级以上; 9、箱体出气口带有有机溶剂吸附装置; 10、箱体安装石英玻璃窗; 11、箱体底部配有支架和旋转脚轮,可微调水平。(二)气体净化系统: 1、水氧净化系统:进口循环泵;净化柱自动再生程序;SUS304不锈钢管道; 2、可得气体纯度:水<1ppm,氧<1ppm; 3、主控阀:MBEPV-40VAT电磁气动阀; 4、PLC控制,箱体工作压力在+/-15mbar范围内进行调节,带有可调节压力的脚踏开关; 5、配有真空泵,真空度2x10-3mbar以上,抽速≥12m3/h,原厂气镇和油雾过滤器; 6、水探头:检测范围0-500ppm;耐腐蚀,PLC集成控制,灵敏度≥10mv/ppm,精确度≥,设计寿命5年以上; 7、氧探头:检测范围0-1000ppm;专为手套箱气氛设计,耐腐蚀,PLC集成控制,灵敏度不低于10mv/ppm,,设计寿命5年以上; 8、有机溶剂吸附装置,5kg以上活性炭可更换,灰尘吸附功能,抽真空功能。(三)加热面板: 箱体内须配备2个加热面板,参数如下: 1、加热输出功率:≥1000W; 2、加热温度范围:50-600°C; 3、带传感器控温精确度:±3K; 4、介质温度稳定性:±3K; 5、加热速度:≥5K/min。(四)系统集成要求: 3个箱体通过T型过渡舱连接成一套手套箱系统,3个舱门,中间箱体右侧另配备微型过渡舱。二、配置要求: 1、箱体集成气体净化系统; 2、6个DN40KF法兰接口 3、BNC和BANANA插头位于箱体上 4、电路改造:符合设备及空调安装要求,配置多路接线插座2设备名称及采购数量:匀胶机1台一、技术参数: ★匀胶机为非标定制,操作界面须与手套箱底板融为一体,真空、补气管路与手套箱集成控制系统必须完全融为一体。所集成甩胶机参数如下: 1、匀胶机须通过手套箱的PLC控制系统进行设置; 2、整机泄漏率:<%/h; 3、顶部带有透明密封罩; 4、能处理尺寸不小于8''的wafer或6''x6''的基片; 5、转速范围:100~7000