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· 72 · 材料导报 2008年5月第22卷专辑X
脉冲激光沉积( PLD) 法生长纳米ZnO薄膜的探索
仇旭升1,谢可可1,孔明光2,汪壮兵1,刘炳龙1,马渊明1,章伟1,梁齐1
( 1合肥工业大学理学院,合肥230011;2 中国科学院合肥固体物理研究所材料物理重点实验室,合肥230031)
摘要在Si 衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜。实验制备ZnO纳米结构,其
颗粒尺寸的控制是关键。通过改变衬底温度( 400~700℃) 和沉积时间,获得不同的Zno纳米结构。SEM观察,在
600"C时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异。XRD
显示,600~700℃结晶良好。
关键词纳米薄膜PLD XRD
St udy of ZnO Na no Fi l ms Pr e par e d by Pul s ed La se r Deposi t i on
QI UXus hen91,XI E Kekel ,KONG Mi ngguan92,WANG Zhua ngbi n91,
LI U Bi ngl on91,MAYuanmi n91,ZHANG We i l ,LI ANG Qi l
( 1 Sc hool of Sci ence ,Hef ei Uni ve r si t y of Te chnol ogy,He fe i 23 0009 ;2 Ke y Labor at or y of Mat er i a l s Phys i cs ,
I ns t i t ut e of Sol i d St at e Phy si c s,Ch i ne se Acad emy of Sci e nces,Hefei 230031)
Abs t r act C- ax i s or i en t ed Zn0 na nof i l ms ar e pr epar e d on si l icon subst r at es by pul sed - l aser deposi t i on( PLD) .
The s ize cont r ol of ZnOna nof i l ms i s t he key of t he expe ri ment .The di f f er ent Zn0 na nost r uc t ur e s ar e got by changi ng
t he subst r at e t e mper at ur e and depos i t i on t i me, The SEMi ma ge s hows t hat gr a i ns of Zn0 na nof i l ms ar e di st r i but ed wi t h
good uni f or mi t y and di sti nct i nt erval s whe n T| i S l ocat ed a t 600℃and i t i s a di scont i nuous f i l m whi c h i S much di f f er ent
f r om ot h er f i