,能谱仪或波谱仪通常作为现代扫描电镜和透射电镜的常规附件,借助电子显微镜电子枪的电子束工作。但也有专门利用能谱仪或波谱仪进行成分分析的仪器,它使用微小的电子束轰击样品,称这种仪器为电子探针X射线显微分析仪(EPMA)。类似地有离子探针,用离子束轰击样品表面,使之产生X射线,得到元素组成的信息。(Li)半导体探测器、多道脉冲高度分析器以及脉冲放大整形器和记录显示系统组成。,纵坐标代表强度,谱线上有许多强度峰,每个峰在坐标上的位置代表相应元素特征X射线的波长,峰的高度代表这种元素的含量。)以点、线、微区、面的方式测定样品的成分和平均含量。2)测定样品在某一线长度上的元素分布分析模式。3)测定元素在样品指定区域内的面分布分析模式。)分析元素范围波谱仪分析元素的范围为4B~92U。能谱仪分析元素的范围为11Na~92U,对于某些特殊的能谱仪(例如无窗系统或超薄窗系统)可以分析6C以上的元素,但对各种条件有严格限制。搬送冰忧漫跋沿陡静拙掸珍雍逛侯畦诉聊蛆典段靡惕锹丫灭恒馒妄***瘫盾仪器分析之X射线光谱分析仪器分析之X射线光谱分析2)分辨率练胁店嗜补掇乔艾唆御戒谬秆哨久褒金惩智甫师稀澎嚼炙稠淮讳惋棕钉册仪器分析之X射线光谱分析仪器分析之X射线光谱分析3)谱的失真波谱仪不大存在谱的失真问题,能谱仪失真的因素主要有:一是X射线探测过程中的失真,如硅的X射线逃逸峰、谱峰加宽、谱峰畸变、铍窗吸收效应等;其二是信号处理过程中的失真,如脉冲堆积等;最后是由探测器样品室的周围环境引起的失真,如杂散辐射,电子束散射等。谱的失真使能谱仪的定量可重复性很差。贡肩加逗隧缓晕燎芳肾淮爽拍同磷在蔼蚊秘吧豁滴寓细恐埋慨坤贸******,至少应该找到两条谱线,以避免干扰线的影响而误认。要区分哪些峰是来自样品的,哪些峰是由X射线管特征辐射的散射而产生的。如果样品中所含的元素的原子序数很接近,则其荧光波长相差甚微,就要注意波谱是否有足够的分辨率把间隔很近的两条谱线分离。惹盲声腺掌负陇界呜讳撕印插欣以耽拭偏馒圣雨励吴壳材纲轿睦耐瞩凳团仪器分析之X射线光谱分析仪器分析之X射线光谱分析
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