永祥硅业还原炉钟罩清洗及烘干装置（系统）技术方案参考书doc.doc

永祥硅业还原炉钟罩清洗及烘干装置(系统)技术方案参考书doc四川永祥多晶硅有限责任公司还原炉钟罩自动清洗烘干装置技术方案北京德高洁清洁设备有限公司2010年12月四川?成都北京德高洁清洁设备有限公司永祥硅业钟罩清洗烘干系统技术方案目录还原炉钟罩自动清洗烘干装置(系统)技术方案.............................4一、项目名称........................................................4二、概述............................................................4三、装置主要参数....................................................5四、工艺方案....................................................................................................................................................................***化氢铵................................................7五、设备布置示意图及PID示意图......................................8六、清洗烘干装置组成...............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................10七、主要设备表及材质说明...........................................11八、随机备品备件专用工具表.........................................14九、两年内备品备件表...............................................14十、主要进口部件明细表.............................................15十一、主要国产外购件明细表.........................................15十二、工程业绩.....................................................16十三、安装与调试、验收标准.........................................16十四、培训、保养与售后服务.........................................17十五、性能担保.....................................................17十六、附一:某多晶硅厂家使用本装置简介..................................................................................................................................................................................25十七、附二:典型1、2楼方案实例图片................................26十八、附三、本技术方案特点(设计先进合理、节能、环保、安全).........。.........