MPCVD法同质外延生长单晶金刚石研究.pdf

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签名:嬲一凌撕日期:喇,哆导师签名:土垦,日期卫、ィ独创性声明关于论文使用和授权的说明成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得西南科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全了解西南科技大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留学位论文的复印件,允许该论文被查阅和借阅;学校可以公布该论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。C艿难宦畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑
摘要相体系下同质外延生长单晶金刚石。通过光学显微镜、扫描电子显微镜气相体系下适宜单晶金刚石生长的温度范围较宽℃~℃缓踉纯梢有效地提高同质外延单晶金刚石质量;在合适碳源浓度%脱跆急微波等离子体化学气相沉积西南科技大学硕士研究生学位论文第针对高速、高质量金刚石单晶外延的优化工艺技术,本文利用自行研制的、不锈钢谐振腔式微波等离子体化学气相沉积爸茫高温高压法合成的型ゾЫ鸶帐;住⒃⒁窍晗副碚魍释庋咏鸶帐谋砻嫔长形貌、结晶质量和生长速率,研究生长面温度梯度、生长温度、氧碳比、碳源浓度对释庋拥ゾЫ鸶帐さ挠跋臁=、结晶质量好的单晶金刚石。关键词:单晶金刚石同质外延生长
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目录西南科技大学硕士研究生学位论文第绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·ゾЫ鸶帐こ粱爸糜氡碚魇侄巍金刚石的晶体结构和单晶金刚石的分类⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”金刚石的晶体结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯单晶金刚石的分类⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯金刚石的性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯金刚石的力学性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~生长温度对金刚石生长的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..∠蛭蟛罱嵌訡单晶金刚石的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.羧肷倭縊对金刚石外延的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ㄍ释庋由さゾЫ鸶帐芯拷埂课题来源及主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ゾЫ鸶帐こ粱爸谩微波系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...绫;は低场外延单晶金刚石的表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯攻读硕士学位期间取得的学术成果⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”.庋晕⒕⒁⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.璧缱酉晕⒕⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·生长面温度梯度对单晶金刚石晶体质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯外延单晶金刚石的表面形貌⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·.庋拥ゾЫ鸶帐慕峋苑治觥小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一生长温度对ㄍ释庋拥ゾЫ鸶帐さ挠跋臁不同生长温度同质外延单晶金刚石的生长工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ゾЫ鸶帐谋砻嫘蚊病单晶金刚石晶体质量和生长速率⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·氧碳比对ㄍ释庋拥ゾЫ鸶帐さ挠跋臁不同氧碳比下同质外延单晶金刚石的生长工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ゾЫ鸶帐谋砻嫘翁小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯”总碳源浓度ㄍ释庋拥ゾЫ鸶帐さ挠跋臁不同碳源浓度下外延单晶金刚石的生长工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.