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掺硅非晶碳结构和光学性质的研究
秦苗苗刘晓晨张庆峰刘世民
亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室燕山大学,秦皇岛
摘要:目前,将非晶碳薄膜作为光学薄膜的实验研究逐渐增多,并取得了良好的预期效果,但很少有从原子尺度进行研
究。本文采用基于密度泛函理论的分子动力学方法,对密度为,碳结构进行了建模并掺杂,得到的非晶
网络结构从径向分布函数上与实验符合的很好。研究表明,少量的掺杂没有引起大的结构改变;原子的局域态密度在费
米能级处未形成掺杂态,但带隙变宽,这是由于的掺杂使杂化量相对减少。另外,对于密度为的非晶碳,在
紫外可见光近红外范围内,掺杂少量的透过率高于未掺杂的透过率;密度的四面体非晶碳,在可见光到近红
外波段内,掺杂的透过率先高于后低于未掺杂的透过率。
关键词:非晶碳;掺杂;电子态密度;光学性质
甜筒煌粼恿%.呓缣跫甜,%膖瓹:进行研究,计密度鸬膖簊扑惴椒圈省獭薷誥,χ醒蹦踝錾的配位恚甂点网格设定在悖算发现穋:.%,,。液体一淬火。【?,Ⅸ下平衡,以得到稳定的结?—簊拟过程采用的是使用力学方法的模块和可分为四部分:┥ⅲ,././%.也就是:,我们首先对掺杂量为%.‘┰踊返慕嵌绕ɡ蛊浣峁褂邢嗟贝蟮母谋洌佣—哂懈叩难褂α浚畉狢:Ⅱ是籹,籹键的个数.%膎/辛私峁菇%械膕杂化爱愿子的三霸原子环点蕾头蠢的灰色蠢子为曩立的訇僮孤立圈痗.
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秦苗苗刘晓晨张庆峰刘世民
亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室燕山大学,秦皇岛
摘要:目前,将非晶碳薄膜作为光学薄膜的实验研究逐渐增多,并取得了良好的预期效果,但很少有从原子尺度进行研
究。本文采用基于密度泛函理论的分子动力学方法,对密度为,碳结构进行了建模并掺杂,得到的非晶
网络结构从径向分布函数上与实验符合的很好。研究表明,少量的掺杂没有引起大的结构改变;原子的局域态密度在费
米能级处未形成掺杂态,但带隙变宽,这是由于的掺杂使杂化量相对减少。另外,对于密度为的非晶碳,在
紫外可见光近红外范围内,掺杂少量的透过率高于未掺杂的透过率;密度的四面体非晶碳,在可见光到近红
外波段内,掺杂的透过率先高于后低于未掺杂的透过率。
关键词:非晶碳;掺杂;电子态密度;光学性质
甜筒煌粼恿%.呓缣跫甜,%膖瓹:进行研究,计密度鸬膖簊扑惴椒圈省獭薷誥,χ醒蹦踝錾的配位恚甂点网格设定在悖算发现穋:.%,,。液体一淬火。【?,Ⅸ下平衡,以得到稳定的结?—簊拟过程采用的是使用力学方法的模块和可分为四部分:┥ⅲ,././%.也就是:,我们首先对掺杂量为%.‘┰踊返慕嵌绕ɡ蛊浣峁褂邢嗟贝蟮母谋洌佣—哂懈叩难褂α浚畉狢:Ⅱ是籹,籹键的个数.%膎/辛私峁菇%械膕杂化爱愿子的三霸原子环点蕾头蠢的灰色蠢子为曩立的訇僮孤立圈痗.
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