静电防护ESD问题幻灯演示知识分享.ppt

静电防护ESD问题幻灯演示知识分享.ppt静电放电(ESD)及其防护主讲:林秀华厦门大学物理与机电工程学院内容安排0、引言1、静电的产生2、静电放电(ESD)效应物理机制3、洁净车间、机房的静电表现4、-LED失效分析5、ESD危害与防患措施6、电子产品的静电防护7、ESD问题和思考0、 静电的基本概念静电是一种客观的自然现象,由于电荷和电场分布而产生的;静电现象:电荷的产生和消失过程的电现象;物体结构-分子-原子;空气中含有100至500个带电离子/cm3;地球是个巨大的电场E≥130V/m,带电云层经过后10000V/m;静电与日常用电的异同点。静电放电全称(ElectroStaticDischarge/ESD);1、 静电放电效应(ESD)内因分子-原子-原子核(核)-感应电子(外壳)荷电性质正电荷负电荷不同质材聚四***乙烯聚乙烯聚丙烯树脂聚亚***酯醋酸纤维硬橡胶木材棉花纸张铝丝绸铅羊毛尼龙头发云母石棉空气表一:物体摩擦带电电序表:1、静电的产生(续一) 静电放电效应(ESD)外因物体相对运动引起(摩擦、位移、接触、冲击)生产工艺:挤压、切割、搅拌、过滤、喷溅、流动生活中的行走、起立、穿***服、推拉物体雷电放电(雷云间或雷云与地面物体)1、静电的产生(续二)静电来源湿度10-25%RH湿度65-90%RH行走在地毯上35000V15000V行走在胶地板上12000V250V在工作台上操作6000V100V捡起塑料胶袋20000V1200V推动发泡胶椅子18000V1500V表二:ESD的来源:2、 三种不同材料(导体、半导体、绝缘体)表三:性质比较:电阻率(Ω·cm)静电感生电荷表面导体<10电荷可自由移动,电荷易在表面重新分布等势面(有规则形状电荷均匀分布)半导体10-1-109本征半导体(不掺杂)较易受静电影响非等势面有电位差绝缘体>1010产生束缚电荷,电荷难以在表面重新分布2、静电放电效应物理机制(续一)01010310210111012101310141015带电倾向体电阻/Ω·cm图一:带电体电位VS体电阻2、静电放电效应物理机制(续二) 电子、半导体荷电起源半导体器件制程工艺都在表面上进行(切磨抛、清洗、氧化、光刻、蒸发、烧结、光刻、钝化、划片、测试)制备芯片;电子产品装配中:传送带、风冷热气流、毛刷刷灰尘、气枪、冲床、气压电动钻孔、锁镙丝、装包装袋、摩擦、剥商标纸等。