国家标准-救生艇筏和救助艇灯征求意见稿.doc

中华人民共和国国家标准
真空镀膜设备通用技术条件 GB 11164—89
Vacuum deposition equipments generic specification
1 主题内容与适用范围
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。
本标准适用于压力在1×105~1×10-4Pa范围的各种类型真空镀膜设备(以下简称设备)。
2 引用标准
GB 6070 真空法兰
GB 191 包装储运指示标志
GBn 193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件
3 技术要求
正常工作条件
a. 温度:10~30℃;
b. 相对湿度:不大于80%;
c. 冷却水进水温度:不高明于25℃;
d. 冷却、加热等循环用水的质量:采用城市自来水或质量相当的水;
e. 供电电源:380V三相 50Hz或220V单相 50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342~399V或198~231V;频率波动范围:49~51Hz;
f. 设备工作所需的压缩空气,液氮、冷、热水耗量均应在产品说明书中写明;
g. 环境:室内应整洁;地面、天花板及设备周围墙壁应干净;空气应清洁,不应有可引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
特征参数
设备的主要技术参数符合表1的规定。
设备的淀积源的工作状况应稳定,并易于调节控制。对各种类型淀积源(如:电阻蒸发源、电子束蒸发源、空心阴极蒸发源、孤光放电蒸发源及各种磁控溅射源等)的技术要求,由相应的产品标准予以具体规定。
结构要求
设备的结构设计应布局合理,造型美观,操作简便,便于维修并符合经济、安全高效的原则。
设备中的真空管道,静动密封零部件(法兰、密封圈等)的结构型式和尺寸,应符合GB 6070的规定。
在低真空和高真空管道及真空镀膜室上应装设真空测量规管,分别测量各部位的真空度。
如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设油蒸气捕集阱。
设备的镀膜室应设有观察窗,对在镀膜过程中发生射线的设备,观察窗镜上应加装防射线镜片。
制造质量
设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定,且应具有质量合格证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。
表1
参数名称
参数数值
真空镀膜室
尺寸分档
mm
3201),5001),600,6301),700,8001),900,10001),1200,
12501),1400,16001),1800,20001);
真空指标
分档
A
B
C
极限压力
≤5×10-4Pa
≤5×10-3Pa
≤5×10-2Pa
恢复真空
抽气时间
从大气压抽至7×10-3Pa
从大气压抽至7×10-2Pa
从大气压抽至7×10-1Pa
镀膜室容积
≤1m3
≤20min
≤15min
≤15min
>1m3~4m3
≤30min
≤20min
≤20min
有效加热区
加热均匀度
按产品说明书或由用户隔壁制造厂所订协议约束
返油率