4F DF外层干菲林工程培训.ppt

外层干菲林工程培训内容一、干膜知识二、干膜工序的职能三、工序流程四、磨板段五、无尘房的控制六、贴膜段七、曝光段八、菲林制作九、显影段十、问题原因分析及改善措施一、干膜知识?1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业(非水溶性干膜,溶剂型;显影用三***乙烷,退膜用二***甲烷)。(缺点:需消耗大量有机溶剂,污染大,成本高)?1970年研制出一种半水溶性干膜,(添加2-15%),。?1978年改进为全水溶性干膜,,,其成本更低,污染更小,品质更好。?APart:聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去1milPolyesterCoverSheet?BPart:光阻膜层PhotopdlymerFilmResist?CPart:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去PolyettylencSeparatorSheet厚度1mil附图于下一页干膜结构干膜结构-附图聚醋盖膜(保护膜)聚乙烯隔膜光阻膜层干膜各层作用聚酯保护膜:,防止擦花药膜,,由于曝光后聚合反应将继续进行,氧气进入会与自由基发生反应形成非活性的过氧化物,阻止聚合反应的进行,使聚合过程停止造成曝光聚合不足。聚乙烯隔膜?避免卷膜、运输、储存时,干膜药膜与保护膜之间相互粘贴,(厚度25μm-30μm,测本公司干膜隔膜27μm)光阻膜层(药膜层)?(光引发剂)*将干膜各组份粘结成膜,是光阻层的骨架,主要影响膜层的物理性能,在光聚合过程中不参与化学反应,但其决定光阻剂是属于溶性、半水溶性和溶剂性干膜,粘洁剂决定干膜的Tg点。*聚合反应主体,单体吸收自由基后进行聚合反应形成商分小聚合体。(一般320-400nm),启动剂自行裂解而产生自由基,为聚合反应提供条件。,防止粘结不牢而引起的渗镀与甩膜。化学成分作用