PZT薄膜的制备、表征及图形化的研究.pdf

⑧∧さ闹票浮⒈碚骷巴夹位芯重庆大学硕士学位论文重庆大学光电工程学院跹学生姓名:王克园指导教师:李伟副教授专业:仪器科学与技术学科门类:工学二欢晡逶
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摘要膜材料。本文针对微能量收集器对∧さ囊G螅芯咳芙耗悍ㄖ票窹薄膜对∧∧な怯汕㈩衷K刈槌删哂蠥型钙钛矿结构的化合物,具有优良的压电、铁电、介电和热释电等性能,被广泛应用于微电子学、光电子学、微电子机械系统等领域,它是一种重要的功能性薄的各个环节,解决了∧さ墓炅盐侍猓票赋~微米厚的无龟裂的膜,微结构分析表明∧な且晶向为主的钙钛矿结构。本文的主要研究工作包括下面几个方面:①∧さ墓ひ樟鞒蹋饕0ǎ篜前驱体溶胶的配制、涂胶工艺、热处理工艺、薄膜的极化等,并对工艺参数进行优化,以得到高质量的∧ぃ②研究了∧ぶ票腹讨械谋碚鞣椒ǎ煤焱馄兹范≒前驱体溶液中分子基团,利用这些信息为改善溶胶配制条件提供参考;利用湎哐苌淙范≒薄膜的晶向;利用扫描电镜观察∧さ男蚊玻焕锰ń滓遣馐訮薄膜的厚度;③在】∧ね夹位姆矫妫允7ǜ捶椒ń辛私舷晗傅难芯浚致哿三种腐蚀液图形化的效果,结果显示第一种腐蚀液的效果最好,腐蚀界面整齐,④研究∧ぱ沟缧阅懿馐晕⒔峁怪谱鞣椒ê凸ひ樟鞒蹋V谱骰赑薄膜的器件打下较好的基础。本文虽然在∧さ娜芙耗悍ǖ闹票浮⒈碚鳌⑼夹位矫孀隽艘恍┕ぷ鳎但还存在一些不足,对我们的工作加以总结,希望为今后的工作提供有益的借鉴。关键宇:沟绫∧ぃ芙海悍ǎ∧さ谋碚鳎夹位中文摘要
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