刀具涂层技术研究.doc

***涂层技术研究1引言当前,制造业已发生了革命性的转变,以数控机床为基础的现代制造技术正朝着高速、干式切削加工的方向迈进。在该领域中,切削***制造技术的发展至关重要。由于***涂层技术可大幅度地提高切削***的综合性能,尤其是近年来超硬薄膜设计概念的提出,在理论上可有效地改善***的高温性能,使涂层***应用于高速、干式切削加工成为可能。在数控机床日益普及,现代先进制造技术概念逐渐形成及国家大力推进节能、环保制造模式的影响下,自2000年起,国内***涂层技术掀起了第二次发展热潮,发展的重点为各类PVD技术。大专院校以设计、表征超硬薄膜为主要研究方向,而社会兴办***涂层加工服务中心则成为国内***涂层业发展的主流。尽管国内***涂层技术水平依然落后,但应用市场的普及性及需求量已远远超出预计结果。因此,高水平、稳定的***涂层技术是国内工具行业极其渴望的,如果国内能开发出相应的原创技术,则短期内可在国内形成广泛的***涂层加工服务体系,并会带来巨大的社会经济效益。2国内商业应用PVD技术概况国内PVD涂层技术的研发工作始于八十年代初,八十年代中期研制成功中小型空心阴极离子镀膜机及高速钢***TiN涂层工艺技术。由于对***涂层市场前景的看好,国内引进了热阴极离子镀及阴极电弧(多弧)离子镀技术与装备。技术及装备的引进摧动了国内***PVD涂层技术的第一次开发热潮,国内各大真空设备厂及科研单位纷纷展开了离子镀膜机的研制工作,并于九十年代初开发出多种PVD设备。但由于大多数的设备性能指标低,涂层工艺稳定性差,预期的市场效益未能实现,从而导致了近十多年国内***PVD涂层技术处于徘徊不前的局面。尽管九十年代末国内成功开发出了硬质合金TiN--TiN多元复合涂层工艺技术,并达到了实用水平,但在随后的发展过程中也并未得到市场认可。随着我国汽车工业的迅速崛起、先进制造技术的大量引进及数控加工技术大面积的普及,自本世纪初,PVD技术在国内掀起了第二次开发热潮。与九十年代不同,目前国内PVD技术的发展更具多元性及创新性,归纳起来有以下几种类型:?阴极电弧法(CathodeArcDeposition)国内已由小圆型阴极电弧技术发展到大面积阴极电弧技术及柱型靶阴极电弧技术,主要用于TiAlN等薄膜的制备。?热阴极法(HotCathodePlating)源于Balzers的技术,主要用于TiN等薄膜的制备。?磁控溅射法(ronSputterPlating)近年来,磁控溅射技术一直是国内涂层业的重点发展方向,先后出现了非平衡磁控溅射技术、磁控溅射加辅助离子源技术等,可制备各类薄膜。?磁控溅射附加阴极电弧法目前国内已较多采用的技术,可用于多种薄膜的制备。?空心阴极附加磁控溅射及阴极电弧法空心阴极在国内是一项传统技术,其应用市场仍旧存在。为了充分发挥此技术的特点,国内的研究者将空心阴极与磁控溅射技术、阴极电弧技术结合在一起,用于多元薄膜的制备,且这种全新的尝试已对市场产生了影响。归纳起来,国内***涂层技术开发的目的仍以TiAlN薄膜为主,上述各类技术已可在切削***上制取多种膜层,包括TiAlN薄膜,但目前所欠缺的是应用基础的研究及工业化生产工艺稳定性的保障。3当前国内薄膜技术研究的主要热点近年来纳米超硬膜技术已成为涂层领域研究开发的热点,自2000年以来在国内已进入持续开发阶段。超硬膜定义为硬度大于40GP