两探针电阻率测试仪.doc.doc

两探针电阻率测试仪小图大图 1 、概述 KDY-2 型两探针电阻隔率测试仪(以下简称两探针仪)是按照我国国家标准及美国材料与试验协会( ASTM ) 推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适合于测量模截面尺寸是可测量的, 而且棒的长度大于横截面线度的有规则的长棒, 例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出, 远离电压测量探针,因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应(如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等) ,对测量的影响较小,因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。特别是对多晶材料的测量, 由于多晶晶粒间界处, 杂质局部偏析可能导致电阻率较大变化, 这种影响对四探针法更为严重,故不推荐用四探针法测量多晶材料的电阻率。本仪器主要由电气测量部份(简称:主机) 、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表, 在测量电阻率的同时, 另一块数字表( 以万分之几的精度) 适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/ 测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为 % 的恒流源, 使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关, 在测量某些材料时, 可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生, 更好地保护被测材料。仪器配置了本公司的专利产品:“小游移探针头”, 间距为 的两探针头探针游移率在 % 以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机可配用 HQ-710C 数据处理器, 置入必须的数据后, 处理器会配合探头在硅棒上移动测量, 自动计算、打印出各点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的最大值、电阻率最小值,给测量带来很大方便。 2 、主机技术参数(1 )测量范围: 可测硅晶体电阻率: -50000 Ω? cm 可测硅棒尺寸:最大长度 300mm ;直径 20mm (均可按用户要求更改)。(2 )恒流源: 输出电流: -100mA 五档连续可调量程: - ( 1-10 μA) - ( 10-100 μA) -