《现代地球科学测试技术》第2章电子探针.ppt

第二章电子探针(EMPA)-矿物主量元素分析微区分析技术使用聚焦的具有一定能量的微电子束、微离子束、微光束或其他微粒子束作为激发源来激发样品的微区而产生各种信息,并对这些信息加以探测、收集、甄别从而得到样品微区成分、结构以及形貌等特征,即称为微区分析技术。主要内容一、电子探针分析概述二、电子探针的基本原理三、电子探针仪的结构四、电子探针分析的应用五、样品制备与操作事宜一、电子探针分析概述东华理工大学电子探针(JXA-8100)电子束微区分析技术指的是以细聚焦电子束为激发源,进行物质组分和物体表面形态分析的物理测试手段。代表性仪器有电子探针和电子显微镜。电子探针是电子探针X射线显微分析仪(ElectronProbeX-rayMicro-Analyzer,EPMA)的简称,是运用电子所形成的探测针(细电子束)作为X射线的激发源来进行显微X射线分析的设备。电子显微镜(ElectronMicroscope)包括扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)和透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope,TEM)。电子探针和电子显微镜两种仪器都具有组分和形态分析的功能,只不过是它们的性能各有所侧重。电子探针主要侧重于元素的定性、定量分析方面的物质组分的研究电子显微镜则侧重于物体表面形态的分析和研究电子探针测试功能较全,样品需磨制较平的薄片、光片,分析时电子束与样品垂直,可进行定性-定量分析,背散射、二次电子图象。扫描电子显微镜简介(scanningelectronmicroscope)扫描电子显微镜(SEM)的出现要比电子探针早得多,可以说正因为有了扫描电镜,才有了电子探针。1935年,Knoll首次提出扫描电镜的基本原理。第一台扫描电镜的试制品出现于1938年,但第一台商品化扫描电镜是英国剑桥仪器公司生产的“立体扫描(stereoscan)电子显微镜”,分辨率为50nm,出现于1965年。