玻璃基光刻铬掩膜板膜系研究.pdf

合肥工业大学
硕士学位论文
玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究
姓名:王凤丹
申请学位级别:硕士
专业:流体机械及工程
指导教师:陈长琦
20050301
玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究关键词光掩膜,膜系设计,磁控溅射,刻蚀摘要以光学薄膜设计中的隐含规律为基础,采用递推法,并在特定的边界条件下分我们进行了多次薄膜样品的生产实验,并对镀膜产品进行了一系列性能测试。蚦蛟裼派ぃü淌词笛橹っ鳎赾和研究表明,以膜系设计的结果为参照,实验所镀膜层光学性能优异,满足刻蚀本文从理论和实验两个方面研究了玻璃基光刻铬掩膜板的膜系设计以及其在真空环境中的制备。别对单层及多层吸收膜的反射和透射变化进行了求解和理论计算。同时,在膜系设砑心は瞪杓疲匝扒蠡竦寐夤庋阅艿哪は结果表明,在分别采用氮气和氩气作为工作气体时,生成的膜层成分均为铬和氧元素,并没有氮化铬生成。在控制总工作气压不变的情况下,控制每种工作气体氮气、氩气和氧气体积流量时,生成的膜层表面晶化状态差异很大,膜层中蛏は嗟钡哪は盗ρЭ淌葱阅茏罴选计中,借用结构。产品的要求,具有广阔的应用前景。
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冲状旅我赫遗男劲合婀中斜防蜚鼢《聿移珲够石砰缸羡崴合肥工业大学答辩委员会签名:ぷ鞯ノ弧⒅俺委员:主席:导师:蝗本论文经答辩委员会全体委员审查,确认符合合肥工业大学硕士学位论文质量要求。
翩虢签字日期;为钟罗月岁王学位论文作者签字:王/虱舟签字日期:年≥月;/日学位论文版权使用授权书独创性声明签字日期:钞町年拢日本学位论文作者完全了解盒胆兰些盔堂有关保留、使用学位论文的规定,有权保金世王些盔堂可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索,可以采本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标志和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得盒殴点些太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅或借阅。本人授权C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ工作单位:通讯地址:谢意。用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。学位论文作者签名学位论文作者毕业后去向电话:邮编:
谢致陈老师对我的学习倾注了大量的心血,并对毕业论文的选题、修改都给予了精心地在两年多的研究生学习阶段,得到了胡焕林教授、朱武副教授、干蜀毅副教授、识有了长足的进步,在此表示衷心的感谢路漫漫其修远兮,吾将上下而求索。我希望在未来的学习和工作中,以更加丰值此论文完成之际,谨向我的导师陈长琦教授表示最诚挚的感谢裂衅诩洌指导与启发。陈老师渊博的学识、严谨的治学态度、敏锐的学术眼光、谦虚平易的作风给我留下了深刻的印象。两年多来,陈老师不仅在学业上给予了我以精心的指导,使我从中学到了许多为人治学的道理,同时还在思想、生活上予以无微不至的关怀,在此,再此向陈老师致以最诚挚的谢意和崇高的敬意。王旭迪等老师的指导与帮助。各位老师毫无保留的诲人气度使我对科学和人生的认在课题研究过程中,得到了苏州美精微光电有限公司镀膜车间的张焕全、胡新源等的热心帮助,在此一并致以衷心的感谢。同时感谢真空实验室的葛锐、聂金良、王艳等同学在生活上给予我的关心与帮最后,我要感谢我的亲人们,感谢父母和妹妹们给予我的支持与鼓励,感谢病重中外公外婆给予的理解,正是由于你们默默无闻的奉献,才使我有信心和毅力完硕的成果来答谢曾经关心、帮助和支持过我的所有领导、老师、同学和朋友。谨以此文献给你们年助。成全部的学业。作者:王凤丹
⒚鞯模第一章绪论一半导体一是贯穿整个社会电子产品的要素。在世纪,社会目睹了伴随着从机械技术派生出的产品到集中电子技术产品变化的技术革命。数字播放机取代了磁带播放机,现代汽车发动机也由电予点火系统控制。半导体产业已经成为这场技术革命的中心。主要建筑材料半导体产业发展的基础是世纪上半叶开发的技术上培育出来的【发明了放大电子信号的三极真空管,,申请了专利并将他的真空管发明命名为音频管。当代半导体产业伴随着年月日在贝尔电话实验室固态晶体管的发明而诞生,。年,在加利福尼亚洲的帕罗阿托市的仙童半导体公司制造出第一个商用平面晶体管。在半导体产业向前迈进的重要一步是将多个电子元件集成在一个硅衬底上,被称为集成电路或简称,,并扩展到如何在平面