ZnO纳米颗粒薄膜的制备及其光学特性.pdf

第34卷第5期 2012年10月压电与声光 PIEZ0ELECTRICS&AC0UST00PTICS () 文章编号:1004—2474(2012)05—0746—03 ZnO纳米颗粒薄膜的制备及其光学特性袁兆林,于军胜,李青,蒋亚东(电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054) 摘要:采用化学回流法制备了3种不同粒径的ZnO纳米颗粒,然后旋涂在ITO玻璃衬底上,形成样品a、b和 C3种ZnO纳米颗粒薄膜。场发射扫描电子显微镜(FESEM)结果显示,3种样品晶粒都呈颗粒形状,形成的薄膜较平整,平均晶粒尺寸分别为 5nm、jz『25nm和 40nm。X线衍射(XRD)结果表明,ZnO纳米颗粒为多晶六方晶系纤锌矿结构。样品a、b在可见光区有很少的光吸收,在紫外光区有很强的吸收,而由于纳米颗粒的直径较大,样品C在紫外和可见光区都存在很强的吸收。室温下的光致发光谱表明,样品a有一个近带边(NBE)紫外发射峰和蓝光发射峰,样品b、C出现一很宽的深能级缺陷相关的可见光发光带,这说明3种薄膜都存在大量的本征缺陷。关键词:ZnO纳米颗粒薄膜;晶体结构;吸收光谱;光致发光谱;本征缺陷中图分类号: 文献标识码:A FabricationandOpticalPropertiesofZnONanoparticleThinFilms YUANZhaolin,YUJunsheng,LIQing,JIANGYadong (Schoolof0pt0electr0nicInformation,, UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,Chengdu610054,China) Abstract:ZnOnanoparticleswiththreedifferentdiametersweresynthesizedusingachemicalrefluxingroute, whichwerethenspin- assamplesa, wereapproximatelyparticleshapewithanaveragesizeof 5nm, 25nmand 40nm, . Samplesaandbrevealedweakabsorptioninthevisiblelightregionandstrongabsorptionintheultravioletregion, whilethesampleCb