氯化物化学气相沉积法制备立方碳化硅涂层.pdf

（申请工学硕士学位论文）
氯化物化学气相沉积法制备
立方碳化硅涂层
培养单位：材料复合新技术
国家重点实验室
学科专业：材料科学与工程
研 究 生：郑顶恒
指导教师：涂溶 教 授
章嵩 副研究员
2017 年 4 月
分类号 密级
UDC 学校代码 10497
学位论 文
题目 氯化物化学气相沉积法制备立方碳化硅涂层
英文 Preparation of Cubic Silicon Carbide Coatings by Chloride-based
题目 Chemical Vapor Deposition
研究生姓名 郑顶恒
姓名 涂溶 职称 教授 学位 博士
指导教师
单位名称材料复合新技术国家重点实验室邮编 430070
姓名 章嵩 职称 副研究员 学位 博士
副指导教师
单位名称材料复合新技术国家重点实验室邮编 430070
申请学位级别 硕士 学科专业名称 材料科学与工程
论文提交日期 2017 年 4 月 论文答辩日期 2017 年 4 月
学位授予单位 武汉理工大学 学位授予日期
答辩委员会主席 李俊国 评阅人 李俊国
王传彬
2017 年 4 月
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