化学浴沉积法制备zns薄膜的研究.doc

------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————化学浴沉积法制备 ZnS 薄膜的研究信阳师范学院学报( 自然科学版)第19卷第4期 200 6年10月 JournalofXinyangNormalUniversity (NaturalScienceEdition). 2006 ? 应用技术研究?詹静, 付非亚( 华中科技大学电子科学与技术系, 湖北武汉 430074) 摘要: 基于化学浴沉积法, 采用硫酸锌、硫脲、水合肼和氨水混合溶液于适当温度下在玻璃衬底上沉积得到表面均匀的 ZnS薄膜1对在不同沉积时间以及退火时间下得到的 ZnS 薄膜运用X 射线衍射法观测其晶型结构, 发现较长的沉积时间(5h) 和退火时间(3h) 制得的薄膜结晶度好, 且检测出为闪锌矿晶型 1 并对其透光性能做了检测, 发现 pH 值对透光度有显著影响 1 关键词:ZnS 薄膜; 化学浴沉积法;XRD 中图分类号: 文献标识码:A 文章编号:100320972(2006)04203 ZnS 是具有 v 禁带宽度的电子过剩的本征半导体1 它具有压电和热电性质, 且是具有 340nm 最大波长的光导体 1 固态 ZnS 受紫外线( 低于 335nm) 、阴极射线γ射线以及电场( 电荧光)[1], 射线、------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————种很好的荧光材料1 同时,在8~12 有良好的红外透过率,[2], 口材料,, 抗反射镀层,等[3]1 本文采用廉价的、适用于大面积沉积薄膜的技术—化学浴沉积法(ChemicalBathDeposition ——— CBD) 制备 ZnS 薄膜 1 作为一种液相薄膜沉积技术, 化学浴沉积(CBD) 即将经过预处理的衬底( 玻璃、石英等) 浸入含有金属离子、络合剂和 S 离子或 Se 离子的溶液中, 获得半导体薄膜的一种技术 1 它所需的反应设备相对简单, 起始反应物容易得到而且便宜; 只要夹具装置设计得当, 一次可沉积很多片衬底; 由于沉积是在液相中进行的, 反应是低温沉积(<100 ℃) 过程, 因此避免了金属衬底的氧化和腐蚀; 由于反应的基本集团是离子而不是原子, 较容易沉积得到无针孔和均匀一致的半导体薄膜, 反应的制备参数容易控制 1 溶液变清 1, 以调整整个溶液的1 将水浴烧杯调到指定,1 待整体温度, 在磁转子连续搅拌的情况下, 按配方要求加入 的硫脲[SC(NH2)2] 溶液 1 采用市售的玻璃片( 面积 25mm × 75mm) 作为沉积衬底1 将经过预处理的玻璃衬底垂直放入烧杯中, 在烧杯口处盖上表面皿以防止 NH3 和水合肼的挥发流失, 开始沉积薄膜 1 经过预定时间的沉积, 在衬底和器壁上得到均匀致