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电场辅助铝诱导晶化非晶硅薄膜人体学报夏冬林,王慧芳,石正忠,张兴良,李蔚引言工晶���������������������������.�����產�提高转换效率、降低成本是目前太阳电池研究的重点。在硅薄膜太阳能电池材料中,非晶硅薄膜材料的制备工艺相对简单‘��】,可大面积沉积,但其转换效率较低、使用寿命短,且存在光致衰退效应�.�в�川,稳定性较差;而多晶硅薄膜材料具有晶体硅材料和非晶硅合金薄膜优点,既具有非晶硅在长波段的高光敏性,能有第�卷第����年��摘要:以氢气稀释的硅烷和氢气为反应气体,利用���ㄏ仍诓AС牡咨仙�し蔷Ч璞∧ぃ�缓罄�么趴亟ι�法在非晶硅薄膜上镀制铝膜,最后将镀有铝膜的非晶硅薄膜样品置于快速热处理炉中,在外加电场辅助条件下,在氮气气氛下对薄膜样品进行退火制备多晶硅薄膜。本论文研究了不同外加电场强度和退火时间对非晶硅薄膜晶化的影响。利用����和���炔馐苑椒ǘ员∧ぱ�返木�嘟峁埂⒈砻嫘蚊埠途Щ�潭冉�辛吮碚鳌J笛�结果表明,在外加横向电场辅助铝诱导晶化的条件下,非晶硅薄膜在��娴臀孪鲁晒Φ刈;�啥嗑Ч璞∧ぃ�⑶�随着横向电场强度的增大以及退火时间的延长,薄膜的晶化程度增强,晶粒尺寸增大。关键词:非晶硅薄膜;多晶硅薄膜;金属诱导晶化;等离子体增强化学气相沉积中图分类号:��.�文献标识码:�文章编号:��������������秅—���琀����—������鎢�������.���篴������������籔���浜豪砉ご笱Ч杷嵫尾牧瞎こ探逃�恐氐闶笛槭遥�浜������—��琖�����獄��,������,�������:�����琣���������,�����������甀����瑃�������.��琒������瑂�������瓻���������������;��—������;���猧���收稿日期:��旬��;修订日期:�����基金项目:材料复合新技术国家重点实验室�浜豪砉ご笱�开放基金���籏��;武汉市科技攻关项目���������作者简介:夏冬林����,男,湖北省人,副研究员。���:�������甧���.��.����,�������琖�������,�����,���������������
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实验效吸收可见光,又具有与晶体硅一样的光照稳定性和高迁移率。因此,多晶硅薄膜太阳能电池被认为是最具有可能替代单晶硅电池和非晶硅薄膜电池的下一代太阳电池,近几年已成为国际上研究开发的热点⋯��生长多晶硅薄膜的方法有很多种,按其制备过程可分为直接制备法和问接制备法。直接制备法是指在玻璃衬底上采用化学气相沉积直接沉积多晶硅薄膜;间接制备法是指先在玻璃衬底上制备处于亚稳态的非晶硅薄膜,然后通过固相晶化���綺�浚�焖偃韧嘶�������す庥盏季Щ����鹗粲盏季Щ���¨�等技术将非晶硅转化为多晶硅薄膜。对于化学气相沉积的方法一般需在一定条件下�绺咔馄�∈捅壤�才能获得,且沉积速度较慢。非晶硅固相晶化���际跛淙簧璞副冉霞虻ィ��奔浣铣��虽然时间短,但是需要一个高温����过程,而且材料的缺陷密度高。而激光晶化法具有晶化度高、晶粒尺寸合适、工艺周期短、衬底的温度低等优点,但是该方法用到的设备昂贵,成本高,且工艺的重复性较差,难以实现大面积制备,在商业应用方面受到很大的限制。���