单晶操作工艺规程.doc

单晶操作工艺规程常州益鑫新能源科技有限公司受控状态实施日期适用85单晶炉实施责任者:..→热场组装→装料→化料→稳定→引晶→放肩→转肩→等径→收尾→冷却热场清扫的要求与注意事项1、热场清扫时要求除石墨部件表面的氧化物;2、碳毡表面和底部的氧化物;3、把清扫完的石墨部件要放在清扫干净的热场车上;4、清扫热场前要求穿戴取热场部件必须带上防热手套以免烫伤;5、拿下的热场部件要轻拿轻放,放在热场车上,禁止与金属接触,如:油漆、润滑油等;6、清扫热场时必须在指定地点,远离单晶炉,禁止用空调吹,清扫要认真、仔细,热场部件一定要清扫干净;7、拆热场时要注意热场放置的顺序和它的位置,禁止叠放。二、热场组装1、保证石墨部件的同轴度;2、保证石墨部件之间的配合;3、加热器脚螺栓要拧松紧适中;4、检查石墨部件的洁净度和石墨部件是否有损伤;5、中轴是否居中拧紧;6、放置保温筒后对中导气孔测温孔;7、加热器放水平,对中,检查其脚是否有碎的石墨纸;8、石墨坩埚放水平,检查旋转时是否有晃动;9、总的要求是:水平、同心、同轴。三、装料1、装料前必须按要求着装;注意好工艺卫生,防止料的二次污染。2、如果有大块料需要提前处理,处理时必须保证不受任何污染;3、先检查石英坩埚是否的损伤,气泡,黑点,是否符合石英坩埚的检查标准,然后将石英坩埚装好,保证水平;4、装料时所注意到的有:(1)检查石英坩埚放置是否水平(2)着装是否正确(3)放掺杂剂(4)料与石英坩埚之间避免撞击(5)大块料和埚底料放在最下面(6)碎料应装在石英坩埚1/2以下位置(7)最上面装中等大小的块状料(8)注意更换卫生用具,每装完一袋料更换一次一次性手套;(9)装料时不允许旁观者近距离接触现场(10)装料完毕后,将坩埚下降与加热器水平,下降籽晶吊绳,慢慢上升吊绳,要求籽晶的上升速度为200mm/min四、点检1、先开主泵去看主泵的油位2、—、—、副泵油位是否在1/2—2/3之间5、真空泵油位是否在1/2—4/5之间,油是否清晰6、真空泵冷却水是否打开五、抽真空和检漏1、启动主泵缓慢打开主阀,当压力表指数在-——-,反复三次,半小时内真空计能达到3pa以下就可以捡漏。2、捡漏时间最少3分钟,,就可以通过捡漏。3、检漏通不过检查主阀是否关严,拆管道看密封圈是否有破损4、抽真空抽不下去时检查主泵是否正常工作,密封圈接触的部分是否有封闭不严的地方六、化料1、检漏通过后打开主阀,氩气流量设为25L/min,;2、起始的埚位要与加热器平行30KW加热30min,60KW加热30min,然后再改75KW加热;3、化料过程中,检查是否有挂边现象,如果挂边,把坩埚下降为最底部,如果还没有处理掉,加大功率,比化料时功率大10KW左右,处理挂边时注意溶液的沸腾现象,还要注意石英坩埚是否变形;4、如果有沸腾,先将功率降到60KW,溶液没有沸腾现象才可以上升埚位。5、注意埚位和转速6、注意坩埚边缘的氧化物和溶液的位置七、稳定1、先下降导流筒再上升坩埚2、改变埚转上升挂钩3、打开下炉体氩气,关闭翻板阀4、待上炉体为常压时,打开放气阀拧开三孔螺丝,拿取手柄,上升副室,取下挂钩,换上籽晶,关闭副室进入导气5、换完籽晶合上副室后,下降籽晶,稳定籽晶至静止状态,用功率控制温度到上次引晶时的温度,埚位也为上次引晶时的埚位来进行稳定,待温度到上次引晶温度时改温度控制为功率控制,温度设为上次引晶时的温度。八、导气1、开副泵、开副阀,待高位压力为100以下时,打开上氩气,氩气流量改为120,关副阀2、待高位压力为480以上,开副阀,关上氩,氩气流量改为60,再次待高位压力到100以内,开上氩,关副阀,氩气流量改为1203、再次待高位压力为480以上,关副阀,关上氩,氩气流量改为60,待高位压力与低位压力接近时,开翻板阀,关副阀,关副泵,先开上氩,再关下氩。九、安装籽晶1、注意卫生,夹头温度2、注意纪录籽晶的编号,检查籽晶是否有破损3、籽晶与夹头之间配合十、引晶1、注意拉速的波动、埚位、埚转、晶转2、下降籽晶到液面上方3—5mm处预热10min,要求下降籽晶的速度为200mm/min,然后用用过的籽晶的细的部分试温,根据光圈调整温度3、注意观察棱线,当棱线不一致时,要重新溶接引晶4、引晶过程中如有脏东西粘上,必须取出籽晶,擦干净,剪段有脏东西的部分,甚至更换籽晶5、待拉速稳定才可放肩十一、放肩放肩过程中注意放肩的形状,如果由于温度原因迅速长大成方形,适当要提高拉速,放肩坏两次或