成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响.pdf

万方数据
成形工艺对烧结法制备��胁牡挠跋�胡,刘家祥,刘宸实验方法�匝榻峁�胩致�王�本┗�ご笱Р牧峡蒲в牍こ萄г海�本����氧化铟锡���������或锡掺杂氧化铟��—������简称����靶材是制造��墓丶�牧现�唬�孀殴�贚�产业的高速发展,��胁牡男枨笠渤中�龀ぁH欢�琁�靶材制备技术含量高、难度大,靶材制备的核心技术掌握在国外少数企业手中⋯。目前板显示器行业对于靶材质量的要求。��胁牡墓����鼙U虾痛俳������档姆⒄咕�。��胁牡闹票阜椒ㄖ饕S腥�等静压法、热压法和烧结法。其中烧结法生产成本低、效率高,具有广阔的市场前景。烧结法采用预压�蚍劢�街�方式制备素坯,在一定气氛和温度烧结素坯获得高致密化及晶粒分布均匀的靶材。作为靶材制备的基本工序,素坯的成形工艺直接影响靶材的性能,如微观结构、密度和强度等。如何改善成形工艺,减少模具的损伤,获得成分均一、无裂纹、无分层、高密度的素坯是制备高端��胁牡难芯恐�点。关于素坯成形工艺对��胁闹票傅挠跋欤���外却鲜有报道。采用模压成形制备��嘏鳎�芯苛�成形压力及粘结剂添加量对素坯和靶材制备的影响,优化了制备工艺参数,并确定素坯的成形压力为���,粘结剂添加量为��%,为改善��乃嘏�成形工艺以制备高质量靶材提供了参考和依据。以化学共沉淀法所制平均粒径���腎�粉体为原料,添加少量聚乙烯醇����性炝#��压成形获得素坯,氧气氛、烧结法在��。�律战�素坯制备靶材。分别采用����,����,������的成形压力制备靶材,研究成形压力对靶材制备的影响。分别添加��%,��%,��%的��制备靶材,讨论了粘结剂添加量对靶材制备的影响。用阿基米德排水法测量素坯及靶材密度,��观察素坯及靶材微观形貌。图�硎綢�素坯的相对理论密度与成形压力之间的关系。由图�芍#�沽υ��—���内,素坯密度随压力升高而增大,且这种增大的趋势随压力升高而变缓,在���时素坯相对理论密度达最大值为�.�ァ5毖沽ι�����保��坯的密度反而减小。脱模过程中,压力大于���时,脱模变得困难。���时,坯体易出现缺角,表面分布细小裂纹。���时,素坯易分层开裂,且裂纹宽、数量多,这可能是造成���的素坯密度较���低的原因之一。素坯的颜色随成形压力的升高而加深,这是密度增大的表现。素坯外沿部分的颜色较中心浅,这种差别随压力的升高而变大。这是因为有色金属作者简介:王弱����,女,江西吉水县人,硕士,主要从事无�成形压力对��嘏骱桶胁拿芏燃拔⒐劢峁�。的影响第�卷第��摘要:以平均粒径为��的��厶逦T�希�砑由倭烤垡蚁┐���造粒。模压成形获得紊坯,在氧气氛、���烧结索坯制备��胁摹2捎��—���的成形压力,添加��%,��%,��%的��票赴胁模�芯垦沽�蚉�添加量对靶材制备的影响。结果表明,成形压力在������冢�嘏骷鞍胁拿芏人嫜沽ι�叨�龃螅����贝锏阶畲笾担�直鹞���%和�.�%。���时素坯和靶材密度略微降低。成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难。增大��砑恿浚�。添加��%的��被竦玫乃嘏骷鞍胁拿芏茸罡撸�直鹞����ズ����ァ5贸鏊�坯的较佳制备条件为成型压力���,��砑�.�ァ�关键词:粉末冶金