磁控溅射二化钛薄膜制备及其光学特性研究.pdf

导师签名:丝年三月学日出年土够址年立月五日长春理工大学学位论文版权使用授权书长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的硕士学位论文,《磁控溅射二氧化钛薄膜制备及其光学特性研究》是本人在指导教师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。权使用规定”,同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,也可采用影印、缩印作者签名:本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。
摘要二氧化钛是一种重要的无机功能材料,由于具有着较高折射率和抗磨损性,学薄膜的制备中得到广泛的应用,由于二氧化钛的禁带宽度较宽和相对坚固性,人们喜欢把这种材料用于可见光或近红外线区域。磁控溅射法制备二氧化钛薄膜,并采用湎哐苌湟、紫外可见光光度、光致发光光谱仪对所制备的薄膜进行了结构与光学性质的表征。研究结果表明:制备条件的变化均会导致薄膜晶体结构与光学性质发生改变;所制得二氧化钛薄膜均为锐钛矿相,择优取向为晶面,透过率均在变宽。靶基距与溅射时间的增加导致薄膜结晶性变强,紫外吸收边蓝移,禁带宽度变宽,对不同制备条件的薄膜进行了光致发光测试,比较不同气体组分,不同溅关键词:磁控溅射法二氧化钛锐钛矿禁带宽度光致发光对光的吸收、反射、干涉、衍射和色散等,制备成本低、无毒等特点,使其在光本论文以纯钛为靶材,普通玻璃为基体,氩气和氧气为工作气体,采用射频计%以上,并且二氧化钛薄膜的结晶性随溅射压强、氩气流量、溅射功率、以及负片压的增大均为先增强后减弱,紫外吸收边先蓝移后红移,禁带宽度先变窄后射功率薄膜对光致发光激发光波长及激发光强度的影响。
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目录要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第二章射频磁控溅射制备薄膜原理及工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章制备条件对磁控溅射二氧化钛薄膜结构的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第四章制备条件对磁控溅射二氧化钛薄膜光学性质的影响⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯二氧化钛的结构及性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.二氧化钛薄膜的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.常见的制备方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.磁控溅射原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一本实验所用设备及其介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯簧湎哐苌⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..庵路⒐馄制备工艺及实施方案⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯气体组分对磁控溅射二氧化钛薄膜结构的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一不同气体组分对磁控溅射二氧化钛薄膜紫外性能影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯氩气流量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯不同溅射参数对磁控溅射二氧化钛薄膜紫外性能影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯............................................................
结........................⋯............谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.总致不同制备条件下二氧化钛薄膜光致发光分析⋯溅射压强的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯¨~●■.
第一章绪论引言二氧化