Cr12MoV钢表面磁控溅射TiTiN涂层的摩擦磨损性能研究.pdf.pdf

第卷第期摩擦学学报
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摩擦磨损性能研究
王君丽施雯
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上海大学材料科学与工程学院上海
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摘要采用非平衡磁控溅射方法在钢表面制备了厚度约为的涂层测定了涂层的显微硬度并
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通过划痕试验和摩擦磨损试验考察了涂层同基体的结合强度及其摩擦磨损性能结果表明涂层能够显著提
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高钢的表面硬度和承载能力涂层同钢基体的结合强度较高划痕临界载荷高于与此同时
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磁控溅射涂层可以显著改善钢的耐磨性能这是由于磁控溅射涂层硬度高且与
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钢基体的结合强度较高所致
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关键词钢磁控溅射涂层摩擦磨损性能
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中图分类号文献标识码文章编号
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钢是一种应用广泛的冷作模具钢具
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有良好的耐磨性和韧性但钢冷作模具仍实验部分
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易因磨损而发生失效因此有必要利用多种模具表面
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处理技术来提高其硬度和耐磨性能近年来物理气试样准备
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相沉积技术以工艺温度低可镀覆材料种类基体冷作模具钢经高淬和高温回火处
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多等优点吸引了研究者的广泛关注多种硬质理在下真空淬火后下次回
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涂层如和等已成功地应用于冷作模具表火硬度为将其切割成尺寸
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面改性作为硬质耐磨涂层涂层具有硬度高摩的矩形试样通过研磨和抛光使其表面粗糙
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擦系数低与钢材的热膨胀系数差异小以及耐粘着磨度然后利用型非平衡
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损性能优良等优点已被广泛用于提高工具***钻磁控溅射仪沉积涂层试样在偏压
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头的使用寿命上WHX 一方面等硬质涂层下经 c 清洗后在偏压下用靶沉积厚
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可以有效地提高模具钢的耐磨性能和使用的底层和的涂层其中纯度为
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寿命但有关应用研究的报道较少W!&)X 且很少涉及涂流量为涂层成分用
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层和基体结合强度的影响以及模具工作条件的复杂光发射控制
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性另一方面以作为底层可以降低涂涂层表面性能测试
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层同基体界面之间的残余内应力从而增强涂层同基用