《PECVD日常点检项目》.doc

1检查真空泵运行是否正常A真空泵的BP、MP值的察看;B真空泵自带的报警信息察看:至如下图信息后,按面板上的“Enter”键可进入,按面板上的“PRG”键可退出C真空泵背压值的察看:D真空泵氮气(N2)总压值,冷却水进出口有无漏水:E真空泵冷却水进出手阀状态及压力值:2检查尾气处理设备是否正常(详见《Scrubber日常点检项目》)3目查退舟和进舟机械结构是否正常A目视桨(Paddle)进退有无异常;B桨静止时目视其有无倾斜;C顺便目视提臂(Arm)在取、放舟时有无异常;D桨(Paddle)头的卡箍需要关注是否有松;4查看CMI电脑警告内容PECVD触摸屏中CMI电脑警告内容中,显示了机器在这段时间内的运行中状况(Alarm菜单里);5目检PECVD特气管路是否异常APECVD设备至Ebara真空泵BEbara真空泵至Scrubber设备之间的管路联接情况;C特气柜中特气管路的联接情况;D特气仪表参数值是否在正常范围内;A、B、C三部分,目视其各个联接头之间是否有颜色异常,如果有淡黄色的粉尘存在,就要做出更一步的细致检查与紧固相应接头;D部分,察看各气体压力值是否在标准范围内,压力值不能过大也不能过小;6目检PECVD真空泵进出气管路是否异常(详见[真空泵运行是否正常])7查看CMI电脑中显示加热电流状况APECVD炉内、外温度设定及实际值;BPECVD设备待机时的标准参数状况;SLS=UPScrubber=OFFSetpos=0mmTGA=YESDoor=Closed Actpos=0mm Lift=readyPLC=OK Tube=readyBoatStop=0 BoatHomed=1 BoatRefOK=1C加热电流百分比状况;8查看尾气NAOH情况目前NaOH都为自动加液,查看它是为了保证NaOH没有溢出的异常现象;