镍钛合金表面锆膜磁控溅射制备与组织结构研究.pdf

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镍钛合金表面锆膜磁控溅射制备与组织结构研究60Jn-50吉宏林⒊闪,王如萌判窈,张文艳,抽真空至驪ㄈ虢ι浯緼汽,流昔郭超⑾,林萍华旖:试样制备与实验方法的杂质元素;溅射后,关闭电源和灯气,试样随炉冷稀有金属材料与工程NiTi(NiTi由于具有独特的形状记忆效应及良好的生物相容性,使其成为极具应[1,2150Ni素,作为人体植入物,在体液腐蚀作用下SMA放的离子对生物体有潜在的生物毒性作用,限制其3NiTiSMA性,提高其抗腐蚀性和生物相容性非常有必要,并已[4-蔡伟等人用电弧离子镀的方法在SMA沉积可以抑制离子析出的镀层【俊。等人为了提高SMA同基底温度下沉积纯膜,研究膜的表面形貌、相组101磁控溅射在微电子、光学、材料等方面用于膜的沉积、表面改性等。磁控溅射法制备的膜不仅膜基结合好,结构致密,成分均匀,还可根据需要,在SMANiTi供很好的途径。1ZrTi学、加工、耐蚀性能均佳,稳定性优于不锈钢、和,己用于医疗器械方面,如脑部止血夹、内固定板等。瓾等人用真空电弧沉积薄膜,研究表明,薄膜完全满足其作为微创手术器械表面所需的光学和生物相容性要求【】。目前,有关纯膜的文献报道很少。为了阻止离子析出,提高SMA直流平衡磁控溅射在SMAzrZr膜的表面和横断面形貌,探讨其成膜机制,分析膜的相组成、化学成分和元素价态。试样制备Ni492atTi10的小块,经金相砂纸由粗到细逐级打磨,用去离子水超声漂洗rain+化学抛光至镜面,依次在丙酮、乙醇和去离子水中超声清洗min用于对照,一组放入型超高真空磁控溅射机,保持压强为。靶材直径为999NiTiSMA()V6min1(1211189)(2)NiTizrSEMXRDXPSzrzrT面平整,与基体结合良好;膜和其块体靶材晶体结构一致,出现少量的生物惰性陶瓷相。最后,对磁控溅射沉积膜的机制进行了探讨。关键词:形状记忆合金:磁控溅射;;膜;表面改性Amm31Zr基金硬舀:国家“奔苹钅航逃旷鍪兰陀判闳瞬胖С旨苹唤帐∽匀豢蒲Щ作者简介:吉宏林,男,年生,硕士生,东南大学材料科学与工程学院,江苏南京,电话:;:甤第卷年22TGl39+6文章编号:...×mm1cm3rainrnm疻20080127200804-15【荆甋吐狤V0138No2Timemin疉疺054.
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2暑薄膜蚐表征用薄膜湎哐苌湟—琑Japan)(CumAlo)(Philips观察试样表面和横断面形貌。XPS湎吖獾缱幽芷仪为5Al猉射线源,操作电压,功率。为了去除膜表面污Ar+20厚的表面层。首先对膜表面进行光谱扫描分析表面元素组成。然后记录和母叻直鎄光谱。扣除本底XPSPEAK41分峰处理。膜表面与横断面形貌缁坠夂蟮谋砻鍿照片。基底平整,原始划瘦已经消失,基底表殛有少量(EDX)NiTiSMA相龀觥MV票竮ず笫匝砻娴腟100右致密的细小颗粒组成,没有空洞等疏松缺陷,但局部有少量尺寸较大的颗粒团。图为膜的横断面SEM典型的纤维状生长组织,这实际上是原子扩散能力有限,大量晶粒竞先外延生长的结果,它是由晶粒边界包围下的相互平行生长的较为致密的纤维状组织组35m算出,在本实验的溅射工艺参数下,的溅射速率1膜相组成图荶胁募癦な匝砻娴腦图谱。可以发(002)zrzrZr02(120)Zr要具有强烈的吸气特性,它常用作真空除气剂。是生物相容性极好的