HRS-MF-039拉晶作业指导书(A2版).doc

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工序名称
进车间前准备
适用范围
目的
作业顺序
穿戴工作服装
作业环境的温度
要求
注意事项

拉晶作业标准
持有车间
硅棒部
进入车间前准备工作
保证作业环境
作业内容
1、换好工作服、防尘鞋、防尘帽
2、车间温度保持在保证工作环境的温度
工作服要洁净、穿戴整齐

页数
1/32
工序名称
作业流程图
适用范围
目的
单晶待检

HRS-MF-039拉晶作业指导书()
拉晶作业标准
持有车间
硅棒部
拉晶作业
作业流程指导
大清扫

页数
2/32
单晶的取出

拆炉

清

炉

装料
加热化料

(抽空检漏)
副室抽空
更换籽晶

(坏)

引放转
等径
坏(提出或回熔)
收尾
冷却
第 2 页,共 32 页
第 2 页,共 32 页

停炉
工序名称
真空泵的清理及泵油的更换
适用范围
目的
NO. 作业顺序

拉晶作业标准
持有车间
硅棒部
作业流程图
标准作业
作业内容

页数
3/32
1 放油
1、换油员工准备好专用工具及棉丝置于就近位置。
2、拉晶员工关闭主泵球阀。并在炉台上悬挂“禁止启动真空泵”标识牌。
3、换油员工将废油桶置于真空泵放油口下方打开上腔放油开关,取下泵尾气管。
4、换油员工堵严尾气口,缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快速放油,废油倒入
指定油池。
5、换油员工放完油后关闭上下腔放油阀,而后关闭真空泵断开真空泵对应的空气开关
。
2
3

清泵
注油
6、泵油每5炉更换一次。
注意事项及原由
1、确认关闭真空泵是否关闭到位。否则会造成炉内返气。
2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力,以免泵腔内压力过大尾气口关闭不严使油烟
外泄扩散到泵房。
3、切记关闭上下腔的放油阀,防止漏油。
4、处理废油时注意泵房卫生。
5、一定要断开真空泵控制开关,以防他人不慎触动真空泵开启按钮,造成人身伤害。
6、杜绝在除尘罐处充气。
7、每次换油时将上泵腔内的沉积物清理干净。
7、出现异常立刻处理,并报告班长或主管。
1、换油员工用工具打开真空泵侧盖,置于适当位置。
2、换油员工用棉丝彻底清理真空泵腔、及侧盖的油污(70泵下腔滤油网)。
3、清扫完毕后,安装好滤网而后安装好侧盖。
注意事项及原由
1、侧盖在打开、安装时小心操作,防止损坏侧盖及油封而漏油。
2、70泵切记安装滤网。120泵喷油管对准观察窗利于察看真空泵的工作状态。
3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物,不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。
4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。
5、出现异常立刻处理,并报告班长或主管。
1、换油员工打开真空泵注油口。
2、换油员工将加油管放入真空泵注油孔。
3、换油员工开启加油泵开始注油。
4、换油员工观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置。
5、换油员工关闭注油泵,取下注油管,移至适当位置以防漏油,打开泵侧的油路管道
阀门向下腔放油。
6、换油员工装上尾气管,关闭注油口。
7、拉晶员工开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门,察看油位是否处于油位
观察窗1/3----1/2位置。若低于下限重复以上操作。
注意事项及原由
1、注油管保持清洁。防止异物进入泵腔。
2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油。
3、切记安装好尾气管及注油孔,以防开泵时喷油或油气污染泵房。
4、对洒落在地面的油污用锯沫吸附收集,不准冲洗至下水道内,避免对环境的污染。
5、注意清理真空泵及周围卫生。
6、出现异常立刻处理,并报告班长或主管。
7、操作人员需要做好相关记录。
工序名称
单晶的取出
适用范围
目的
NO. 作业顺序
拉晶作业标准
持有车间
硅棒部
拆炉时单晶的取出
标准作业
作业内容

页数
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1 作业准备
2 单晶取出
1、准备好帆布手套(或纯棉纱手套)、耐高温手套、擦炉用的棉丝(或纸巾)。
2、准备好钳子、取单晶的小车(晶筐)。
3、用湿棉丝(或纸巾)将炉体从上到下擦拭干净。
注意事项及原由
1、所需物品必须准备齐全且保持洁净,且就近摆放,以减少不必要的时间浪费。
2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭干净,有利于整体环境,防止交叉污染。
3、擦拭炉体时要小心,防止将所有控制接线及开关碰断或碰坏。
1、单晶冷却完毕后,关闭Ar气同时提升单晶至副室,各炉型最大等颈长度见下表,从小副室观察窗确认
单晶升至所需高度,盖住翻板。(若等颈长