Semiconductor Devices Under Esd Conditions.pdf

ON HIGH INJECTION MECHANISMS
IN SEMICONDUCTOR DEVICES
UNDER ESD CONDITIONS















Gianluca Boselli
TITLE:
On High Injection Mechanisms in Semiconductor Devices under ESD Conditions


AUTHOR:
Boselli, Gianluca


ISBN: 90-365-1554-8


COVER PHOTO:
Courtesy of Dante Tassi from PhotoValtidone ‘90.


KEYWORDS:
Electrostatic Discharge (ESD), High Injection Effects, Diffused Resistors, Substrate
Diodes, ggnMOSt’s, LDMOSt’s.






ã 2001 by Gianluca Boselli, Enschede, herlands.
ON HIGH INJECTION MECHANISMS
IN SEMICONDUCTOR DEVICES
UNDER ESD CONDITIONS




PROEFSCHRIFT



ter verkrijging van
de graad van doctor aan de Universiteit Twente,
op gezag van de rector magnificus,
Prof. dr. F. A. van Vught,
volgens besluit van het College voor Promoties
in het openbaar te verdedigen
op vrijdag 6 april 2001 te uur.




door



Gianluca Boselli

Geboren op 12 februari 1967
te Busseto (Parma), Italië
Dit proefschrift is goedgekeurd door de promotor:
Prof. dr. ir. F. G. Kuper

en assistent promotor:
Prof. dr. ir. A. J. Mouthaan
“Death is not when you can municate, but when you can no longer be understood”

Pier Paolo Pasolini




































To my mother Afra
Samenstelling van de missie:

Voorzitter:
Prof. dr. H. Wallinga Universiteit Twente

Secretaris:
Prof. dr. H. Wallinga Universiteit Twente

Promotor:
Prof. dr. ir. F. G. Kuper Universiteit Twente/
Philips Semiconductors
Assistent promotor:
Prof. dr. ir. A. J. Mouthaan Universiteit Twente

Leden:
Prof. dr. P. H. Woerlee Universiteit Twente/Philips Research
Prof. dr. ir. B. Poelsema Universiteit Twente
Prof. dr. J. W. Slotboom Technische Universiteit Delft/
Philips Research
Dr. A. Amerasekera Texas Instr