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光电子技术研究所 D D D D 三大类。 CCD 问世不久,美国 RCA 公司用三个帧转移型 512 ×320 D 片制成了第一台彩色摄像机。不过当时像机的灵敏度较低, 被摄景物照度要达数万勒克斯。按光谱分类分为 D D D D 1 光电子技术研究所后经日本几家公司不断改进,使之性能不断提高,功能日益完善,体积逐步缩小, 重量越来越轻。如松下公司 574 ×582 像素 器件的出现,其彩色摄像的水平分辨率达 390TV 线。 2 光电子技术研究所由于这种摄像机小型轻便,功耗低,启动快,没有残像灼伤,能够拍摄高速运动的物体,基本能满足新闻采访的要求。 D 摄像机已是高清晰度电视行列的正式成员,以它独特的优点使电视记者们爱不释手。 3 光电子技术研究所 D 摄像机结构框图 4 光电子技术研究所 D 常采用行间转移结构,因为行间转移结构可以把光敏区和转移区分开,能有效防止模糊现象。为了提高蓝光灵敏度,使用透明电极(SnO 2)作为光敏区电极,转移寄存器采用 BCCD 。 5 D 的性能参数 D 器件的优劣,制定了一系列特性参数,如?转移效率?不均匀度?暗电流?响应率?动态范围等。 6 光电子技术研究所转移效率是指电荷包在进行一次转移中的效率,即电荷包从一个栅下势阱转移到下一个栅下势阱时,有 V 部分电荷转移过去,余下ε( 称为失效率) 部分没有转移, η用公式表示为η=1-: 界面态俘获(或体态俘获)、电荷转移速度太慢、电极间隙的影响、表面复合等。 7 光电子技术研究所二暗电流暗电流是指在既无光注入又无电注入情况下输出的电流。暗电流主要来源有四个, 半导体衬底的热产生, 耗尽区里产生复合中心的热激发耗尽区边缘的少子热扩散界面上的产生中心的热激发。其中耗尽区内产生复合中心的热激发是主要的。暗电流的存在限制了器件的信号处理能力,即限制了动态范围。 8 光电子技术研究所暗电流不仅会引起附加的散粒噪声,而且还会不断地占据势阱容量。同时,工作时光敏区的暗电流形成一个暗信号图像,叠加到光信号图像上, 引起固定图像噪声。因此在制作中应尽量完善工艺以降低暗电流(小于微安每毫瓦级)。由于暗电流的不均匀性,D 各单元的暗电流大小不一致,当信号电荷转移时,暗电流每时每刻地加入到信号电荷包中引起暗电流噪声或干扰。 9 光电子技术研究所三噪声散粒噪声、转移噪声和热噪声光注入电注入热产生(一)、散粒噪声信号电荷包的电子数总有一定的不确定性,也就是围绕平均值上下变化,形成噪声。这种噪声与电子管热电子无规则发射和渡越时间空间所引起的散粒噪声相似,故人们常把它称为散粒噪声。在CCD 中 10