全反射X 射线荧光分析 3.pdf

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全反射 X射线荧光分析
赵利敏冼鼎昌
(中国科学院高能物理研究所,北京 100039)
摘要介绍了全反射 X 射线荧光分析的基本理论、实验装置和定量分析方法,简述了其发展史及
其在医学、法学、环境科学、地矿科学、材料科学等领域的应用,评述了今后 X 射线荧光发展的方向.
关键词全反射 X 射线荧光,检测限( MDL )
微量元素的定量分析方法发展到今天,不型. 波长色散型 XRF ( WDXRF) 是利用色散分
但有许多种,而且亦很成熟. 如 X 射线荧光分光原理来获得 X 射线荧光光谱的,如图 1 (a) 所
析(XRF) 、中子活化分析、电感耦合等离子体发示. 能量色散型 XRF( EDXRF) 是利用能量分辨
射光谱( ICP) 、质子激发的 X 射线荧光分析原理来获得 X 射线荧光能谱的装置,如图 1 (b)
( PIXE) 、二次粒子质谱、光量计、光谱分析等. 所示. 从历史来看,1948 年就研制出 WDXRF ,
与其他方法相比较, XRF 具有取样量少、多元 1969 年才研制出 EDXRF. 但自从 60 年代使用
素分析、测量时间短和无损检测等优点[1 ] ,而了 Si (Li) 半导