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文档介绍
安徽嘉硕真空科技有限公司
JSD-300 型真空镀膜机
等；
2. 真空系统
采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；
3. 电气系统
电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
3安徽嘉硕真空科技有限公司
系统示意图如下所示：
膜厚仪探头
调节旋纽
步进电机
电控面板
陶封电极
电流表
真空室
蒸发开关 观察窗挡板
总开关 观察窗
JSD-300 型真空镀膜机
等；
2. 真空系统
采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；
3. 电气系统
电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
3安徽嘉硕真空科技有限公司
系统示意图如下所示：
膜厚仪探头
调节旋纽
步进电机
电控面板
陶封电极
电流表
真空室
蒸发开关 观察窗挡板
总开关 观察窗
JSD300蒸发镀膜机使用说明书 来自淘豆网www.taodocs.com转载请标明出处.
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