半导体芯片、晶圆、LED芯片、外延、TFTLDE制程冷却水(PCW)系统施工规范.docx

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系统施工标准
名目
一般说明

施工说明
笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕
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一般说明
说明
3台泵浦扬程103m75kw流量5000LPM,sus304本体,主管φ225Asus30440s保
温。缓冲水槽sus304,连接RO或DI水。过滤器sus304,5μm(标准滤材),pou7kg/c
㎡。
制程冷却水系统,供给机台16℃供给21℃回水稳定冷却水系统,冷却机台温度。
本标准适用于制程冷却水系统之设计、制造、运输、安装及测试等一般要求。
工程范围
制程冷却水系统:泵浦组,桶槽,板式热交换器(协作冰水系统),管路,PLC把握系
统,
本案工程范围包含运送安装、及测试调整以下之制程冷却水系统:
制程冷却水泵浦。
板式热交换器。
制程冷却水泵浦防振基座之安装与调整,防振基座需包含避振弹簧基座及。
缓冲水槽及附属管路。
制程冷却水过滤器。
全部把握组件及把握管线。
全部水泵之动力配线。
防止结露之必要保温。
标准及法规
各设备应符合以下任一项标准:




送审资料
送审设备型录、尺寸图、材质和电气规格表。
送审系统负荷运转分析(SYSTEMPROFILEANALYSlS)如下:
多台泵浦并联运转性能曲线图(PARALLELPUMPlNGCURVES)
系统运转特性图(SYSTEMCURVE)
系统并联连接点(PUMPSTAGlNGPOINTS)
笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕
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泵浦用于开放系统时,应标示净正吸水头需求(NPSHR)。
,并附上P&。
制程冷却水泵系统
水泵浦型式为单段端吸式。
泵浦外壳为不锈钢制(SS304),泵浦叶轮为半开放,经水力及机械平衡之不锈钢
(SS304)叶片,确保安静与平滑之操作,泵壳并附有释压平衡孔(PRESSURERELlEF
BAlANCEHOLES)。
水泵轴封为机械轴封,材质可为钢材及耐磨合成橡胶或同等功能之产品,轴承框架
的组合须组配与电动马达同一等级,滚珠轴承以薄雾润滑(OILMlSTLUBEICATlON),以
确保运转时的平滑与安静。
联结头须为柔性并能吸取起动时之扭转振动,在马达与泵浦轴连接时需经准确的校
准。联结头需附保护盖。
马达与泵浦共置且由于重构造钢材焊接并置于水平校准之基座上。
泵浦外壳须有交脚直接支撑于褒浦外壳上,以防止泵浦于修理时,因泵浦外壳的悬
空而造成应变(STRAlN)。
每具泵浦由确定速马达驱动。马达须合于NEMA之标准。设计速度之泵浦马达制动
马力,不得超出马达之马力。马达全密闭风扇冷却(TEFC)F级绝缘,且至少有
15%之安全系数。
变频系统(VARIABLESPEEDPUMPlNGSYSTEM)
变频系统包括把握器(CONTROLLER),变频器(ADJUSTABLEFREQUENCYDRlVE),
压差传送器(DIFFERENTlALPRESSURESENSOR/TRANSMlTTER)流量传送
器(FLow
SENSOR/TRANSMITTER)及其它各厂家可供给之标准配备。该变频系统应于原厂执行
全功能测试合格后并检附相关之证明文件方可出厂。
马达在正常运转下以变频器把握,当变频器故障或检修时,需可自动及手动切
换至旁路起动。当马达超过3OHP(含)以上,则旁路启动需以Y- 启动。
变频器
变频器之箱体应符合NEMA1之有关规定且3~3OHP(含)采墙挂式安装,
3OHP以上落地式按箱体装需设计并需附排风扇。
应为Wl或PWM系统用于驱动鼠笼式感应马达,使噪音度需符合IEEE和FCC
规定。
符合NEMA及IEEE或其它同等之规定。笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕
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四周环温允许值为,10至40℃而相对湿度为95%不冷凝的状况。
全速时之效率为及其功率因子应在90%以上。
:%

Variableoverloadtoprotectmotorfromexcesscu『rentatlowspeed
『tingtorque125%torqueforstartingfollowerselection
Metertodisplay%speed,%outputcurrent
Statusindication:Overvoltage,PhaseLoss,Under-voltage,OverTempe『ture,Overcurrent,PowerOn,OverloadExternalFault,GroundFauit,AtSpeed,Run,enab!ed
Hand/off/.:
把握器应参考以下之功能,并以各厂家可供给之标准配备供给:
DisplayScreenAndOnScreeHelpFunction
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SnapActionPushbuttons
(individuallyResetable)(lndividual)
-
(lnVariable
OrConstantSpeedMode)
,
软件程序应包括以下之功能,并以各厂家可供给之标准配备供给:
性能曲线末端点保护程序〔ENDOFCURVEPROTECTlONPROGRAM〕
最正确效率程序〔EFFlClENCYOPTlMlEATlONPROGRAM〕
自动交互切换功能〔AUTOMATICALTERNATIONFUNCTlON〕
系统效率程序(SYSTEMEFFlClENCYPROGRAM)
可与厂务把握系统联机,由厂务把握系统RemoteControl承受工业
PLC
把握器。
压差传讯器参考以下之功能,并以各厂家可供给之标准配备供给:压差传讯器要能准确的量测系统压差(0-70PSI),并将量测之压差以模拟讯号
(4~20mA)传讯至系统把握器(CONTROLLER),传讯距离最远为2023英呎”于额定范
围内准确度为告o±5%以内。
每组板式热交换器需能符合附录所列之流量下要求之热交换量,并于最大流量及
压力时不能产生变形或振动。
消耗性需组件需能在不使用特别工具下轻易替换。
于热交换器最高点需有一接头可外接释气阀,而于最低点需有一接头能外接排水
阀。
热交换板需能符合于其中一侧无压力时仍可承受最大操作压力。笑嘻嘻半导体有限公司〔二号厂房〕
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全部垫片均需使用无石绵制品。
承商需供给热交换器于操作中不冷分散露之PE保温材料建议厚度。
热交换器全部与冰水接触之金属材质均需使用SUS304。
在全流量下其热交效率可达70%以上。
制程冷却水过滤器:
流体:软水,温度:6℃~25℃,操作压力:8kg/cm2。
过滤器外壳:SUS304,耐压:1Okg/cm2,使用滤心数以能完全过滤为准。:材质Polypropylene/Polyethylene或其它同等品,构造:二层构造,型
式:单闭口,O型环,长度:BYVENDER,周密度:1μm。
。
缓冲水槽buffertank:9m3容量、材质SUS304,并需有一液位传讯器及协作补给水及
氮气之把握、减压等阀组。SUS配管、SUS管线,:,以工业乙太网TCP/IPLUS,MODBUS或必要之讯号以供
中心把握系统作为监视用。
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施工说明
材料
直管及管件
管材应采[SUS304]焊接用不锈钢,其管壁厚应符合10S以上之规定。
接头
直管及管件接头为焊接或螺纹接头。假设需以突缘连接时,突缘接头应按5kgf/cm2规格制造。
弯头,T型,渐缩管及管端接头〔StubEnd〕等管配件为氩焊制成,其管壁厚应符
合10S以上之规定或同等级成型之产品。又假设以螺纹接头连接时,当D>50mm时,其连
接另件包括弯头、T型、渐缩管及管端接头等,承受[铸铁]或[不锈钢]制;又当D
≦50mm
时,承受[青铜]制。
。
预备工作
管端须整孔并去除毛头。
组合前先去除管内外之锈皮及杂物。
预备管线与设备连接用之凸缘及管套节。
施工期间之防护措施
在整个管路施工期间以及每日工作完毕时,须对全部管路开口予以掩盖及适当防护,以
预防脏物或其它污物进入管路。
管线之组合制造
一般要求
管线之组合制造,应考虑以尽量削减现场焊接为原则。
焊于管上之吊环,应使用与管子一样之材料。
管子切割须使用切管机或管子割刀,断口应用锉刀或刮刀锉平,避开损伤管子。
在厂组合制造完成之管线,运往工地前,应按标准予以清洗,清洗后管端应用
厚金属板,予以点焊封盖,在未作最终焊接时,不得撤除。
不锈钢管之接合
螺纹接合〔50mm及以下〕
将管端切割平坦,修去毛边,并去除锉屑及灰尘,使用适当之螺纹纹割工具,绞