疏水性对溶胶-凝胶SiO2薄膜抗真空污染及抗激光损伤能力的影响.pdf

第卷第期无机化学学报..
年月—
疏水性对溶胶一凝胶薄膜抗真空污染及抗激光损伤能力的影响
刘源, 沈军, 李晓光周斌张志华
同济大学物理科学与工程学院,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海

摘要:,—的六甲基二硅氮烷
溶胶进行改性,
薄膜。采用自制接触角测量仪、紫外一可见一近红外分光光度计研究了薄膜的水接触角和透过率测试了薄膜的激光损伤阈

明:经疏水改性的溶胶所镀制的薄膜激光损伤阈值由未改性样品的..增加到.,,且抗真空污
染能力大大加强:% .而疏水改性后的样品峰值透过率仅下降了
.%,并保持了较高的激光损伤阈值..
关键词:溶胶一凝胶;薄膜;疏水处理;激光损伤
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:———
:./..—...


, ——

,
,,
:
...
.

.—
% .·
之·之.:.
,—
..
.% .%
...·.
:—;;;
收稿日期:..。收修改稿日期:..。
国家自然科学基金.,国家自然科学基金联合基金,国家科技支撑计划资助项目。
通讯联系人。—:..;:
无机化学学报第卷
引言对碱性,溶胶进行改性,获得了表面能
低、减反射性能好、激光损伤阈值高的薄膜,并
溶胶一凝胶法制备的,

, 理。

实验部分
器件的有效比表面积要比镀膜前大一个数量级如
, . 标准碱性,溶胶的制备过程
使薄膜非常容易吸附环境中的水汽和有机污染物. 以正硅酸乙为前驱体、无水乙醇为溶
从而降低薄膜的光学稳定性和激光损伤阈值尤剂、氨为催化剂,制备,溶胶。先将无水乙醇分成
:再
残余气体分子等污染物在真空条件下的平均自由程将另一份与氨水和去离子水混合搅拌后得到溶液
:将缓慢加入中并保持搅拌。其中,、去
和加速薄膜的污染薄膜被污染后,元件的透过率离子水和无水乙醇混合物质的量之比为::.所

,成为溶胶。将老化后的溶胶均分为份,取其中
℃.
重要。以减缓溶胶进一步水解缩聚
. 疏水改性溶胶的