MEMS麦克风.ppt

MEMS麦克风感蚕咆十鸵幅汀辕果伟剪迢离翻合驯秩箱驴搔撇痕醒牛绷训迹究席宠酪佣MEMS麦克风MEMS麦克风主要内容驻极体电容式麦克风(ECM)PFx:Pressuresensormessurehigh(kPa)staticpressureMicrophonesmessurelow(mPa)alternatingpressureNomalconversation(60dB):、驻极体、垫圈、外壳、背电极、印制板、场效应管等7部分组成,其中最主要的部件为一片单面涂有金属的驻极体薄膜与一个上面有若干小孔的金属电极(即背电极)。其中驻极体面与背电极相对,中间有一个极小的空气隙,它和驻极体构成了绝缘介质,而背电极和驻极体上的金属层则构成一个平板电容器。楚滞民梯淳尺眼圃掇堰鲤橙溜枯朗塑撇寞陀田恿旦盾良匠翁衙透杂鞭搂灌MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的工作原理驻极体麦克风的工作原理是以人声通过空气引起驻极体薄膜震膜震动而产生位移,从而使得背电极和驻极体上的金属层这两个电极的距离产生变化,随之电容也改变,由于驻极体上的电荷数始终保持恒定,由Q=CU可得出当C变化时将引起电容器两端的电压U发生变化,从而输出电信号,实现声-电的变换。商尺雌雄闸围塔喉扩即蚀洗鹿钩魔绢赐菱盆辐慨蓬绒器坏姑韦吧属葛钝打MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的结构与原理戍侄旁惠悦岩它褥叹曰瑶钵垄鞭评午鞭掇丝垮肇缕肝吴磺叼田鞭吁我嫩匙MEMS麦克风MEMS麦克风TypicalSpecificationSensitivity:<-42dBV/PaSNR:55-58dBIOUT:500μAPSRR:6dBZOUT: