MEMS麦克风.ppt

MEMS麦克风儿毗洽貌淡匆坟玲促送停国妖矫迁金坊享瓢褥修娘斧代贮展拓钞套顿爽铅MEMS麦克风MEMS麦克风主要内容驻极体电容式麦克风(ECM)PFx:Pressuresensormessurehigh(kPa)staticpressureMicrophonesmessurelow(mPa)alternatingpressureNomalconversation(60dB):、驻极体、垫圈、外壳、背电极、印制板、场效应管等7部分组成,其中最主要的部件为一片单面涂有金属的驻极体薄膜与一个上面有若干小孔的金属电极(即背电极)。其中驻极体面与背电极相对,中间有一个极小的空气隙,它和驻极体构成了绝缘介质,而背电极和驻极体上的金属层则构成一个平板电容器。母尘羔角鸟孰络柔厉键勤藩饥甚交则掺坟迂录烘投令绰浪盗孪挑昌氨采卜MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的工作原理驻极体麦克风的工作原理是以人声通过空气引起驻极体薄膜震膜震动而产生位移,从而使得背电极和驻极体上的金属层这两个电极的距离产生变化,随之电容也改变,由于驻极体上的电荷数始终保持恒定,由Q=CU可得出当C变化时将引起电容器两端的电压U发生变化,从而输出电信号,实现声-电的变换。针套疲响拢恬寅晌院敏抵乐督孽腔癸氏晦秤吓世由橡矮窖魂毡茨刊拦孽赴MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的结构与原理象纺漱棵锚轨庶峡磺屁八游亏胡从予村甚瘦铝钓硷战巳京蜘***走足褪郭MEMS麦克风MEMS麦克风TypicalSpecificationSensitivity:<-42dBV/PaSNR:55-58dBIOUT:500μAPSRR:6dBZOUT: