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MEMS
麦克风
主要内容
驻极体电容式麦克风(ECM)
MEMS麦克风
ECM vs. MEMS麦克风
MEMS麦克风的发展前景
ECM
电容式麦克风工作原理
PFxV
电容式麦克风的工作原理
Microphone vs. pressure sensor:
Pressure sensor messure high(kPa) static pressure
Microphones messure low(mPa)alternating pressure
Nomal conversation(60dB):app. 20mPa alternating sound pressure
ECM的结构
驻极体麦克风由隔膜、驻极体、垫圈、外壳、背电极、印制板、场效应管等7部分组成,其中最主要的部件为一片单面涂有金属的驻极体薄膜与一个上面有若干小孔的金属电极(即背电极)。其中驻极体面与背电极相对,中间有一个极小的空气隙,它和驻极体构成了绝缘介质,而背电极和驻极体上的金属层则构成一个平板电容器。
ECM的工作原理
驻极体麦克风的工作原理是以人声通过空气引起驻极体薄膜震膜震动而产生位移,从而使得背电极和驻极体上的金属层这两个电极的距离产生变化,随之电容也改变,由于驻极体上的电荷数始终保持恒定,由Q=CU可得出当C变化时将引起电容器两端的电压U发生变化,从而输出电信号,实现声-电的变换。
ECM的结构与原理
Typical Specification
Sensitivity: < -42 dBV/Pa
SNR: 55-58 dB
IOUT: 500 μA
PSRR: 6 dB
ZOUT: kohm
MEMS麦克风