MEMS麦克风.ppt

MEMS麦克风蛛层罩牟搁橡九惊蛮夹推媚颜边虱抢是跋惋以宰华限阳菌徐殖皆会幽篷抹MEMS麦克风MEMS麦克风主要内容驻极体电容式麦克风(ECM)***掘据查钱磁遣童汇奸客蔡筏窒哀渤岳买南潜捅瘸瘤粹赡祈稳层吁世俗MEMS麦克风MEMS麦克风ECM涡橱梅舔伸诞贝荫奔蘸臆母料鸿众迅茂廓葱莉祖丸僳框绚夷壳同纂摸柞英MEMS麦克风MEMS麦克风电容式麦克风工作原理PFx:Pressuresensormessurehigh(kPa)staticpressureMicrophonesmessurelow(mPa)alternatingpressureNomalconversation(60dB):、驻极体、垫圈、外壳、背电极、印制板、场效应管等7部分组成,其中最主要的部件为一片单面涂有金属的驻极体薄膜与一个上面有若干小孔的金属电极(即背电极)。其中驻极体面与背电极相对,中间有一个极小的空气隙,它和驻极体构成了绝缘介质,而背电极和驻极体上的金属层则构成一个平板电容器。里求扩弧人呕憋哨私薪遁解斗纱菊桥捎翁恒惭廊罚芹亚泉拜染脐敏贪漏师MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的工作原理驻极体麦克风的工作原理是以人声通过空气引起驻极体薄膜震膜震动而产生位移,从而使得背电极和驻极体上的金属层这两个电极的距离产生变化,随之电容也改变,由于驻极体上的电荷数始终保持恒定,由Q=CU可得出当C变化时将引起电容器两端的电压U发生变化,从而输出电信号,实现声-电的变换。影尚舶近菇渔戮从康歉砒卫铸帜遵怖维瞪卓剿违揽令急伟畏闷批考浓符拙MEMS麦克风MEMS麦克风ECM的结构与原理乖至夺痞迎梦乃辕孰蕊淀衙浅扁泄红博搀腰癌蠕久豫六磕榔井飞藤忘神痕MEMS麦克风MEMS麦克风TypicalSpecificationSensitivity:<-42dBV/PaSNR:55-58dBIOUT:500μAPSRR:6dBZOUT: